Trifluoruro di azoto (NF3) Gas ad elevata purezza
Informazioni di base
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Cos'è questo materiale?
Il trifluoruro di azoto (NF3) è un gas incolore e inodore a temperatura ambiente e pressione atmosferica. Può essere liquefatto sotto pressione moderata. NF3 è stabile in condizioni normali e non si decompone facilmente. Tuttavia, può decomporsi se esposto a temperature elevate o in presenza di alcuni catalizzatori. NF3 ha un elevato potenziale di riscaldamento globale (GWP) quando rilasciato nell’atmosfera.
Dove utilizzare questo materiale?
Agente detergente nell'industria elettronica: NF3 è ampiamente utilizzato come agente detergente per rimuovere contaminanti residui, come ossidi, dalle superfici di semiconduttori, schermi al plasma (PDP) e altri componenti elettronici. Può pulire efficacemente queste superfici senza danneggiarle.
Gas di attacco nella fabbricazione di semiconduttori: NF3 viene utilizzato come gas di attacco nel processo di produzione di semiconduttori. È particolarmente efficace nell'attacco del biossido di silicio (SiO2) e del nitruro di silicio (Si3N4), che sono materiali comuni utilizzati nella fabbricazione di circuiti integrati.
Produzione di composti di fluoro di elevata purezza: NF3 è una preziosa fonte di fluoro per la produzione di vari composti contenenti fluoro. Viene utilizzato come precursore nella produzione di fluoropolimeri, fluorocarburi e prodotti chimici speciali.
Generazione di plasma nella produzione di schermi piatti: NF3 viene utilizzato insieme ad altri gas per creare plasma nella produzione di schermi piatti, come schermi a cristalli liquidi (LCD) e PDP. Il plasma è essenziale nei processi di deposizione e attacco durante la fabbricazione dei pannelli.
Si noti che le applicazioni e le normative specifiche per l'uso di questo materiale/prodotto possono variare in base al Paese, al settore e allo scopo. Seguire sempre le linee guida sulla sicurezza e consultare un esperto prima di utilizzare questo materiale/prodotto in qualsiasi applicazione.
